ננו פבריקציה
מתקן הננו-פבריקציה של BINA מספק כלים ראשונים במעלה לעיצוב והדפסת תבניות בסקאלה הננומטרית. כלים אלו כוללים אלומת יונים ממוקדת, ליתוגרפיית קרן אלקטרונים, מערכות התזה ואידוי, פוטוליתוגרפיה, מגוון טכניקות להכנת פילם-דק (ALD ו- PLD) וחדרים נקיים בדרגה 100 ו-1000 המצוידים במכשור למגוון תהליכי פבריקציה. מתקן הפבריקציה מצויד בכלים לפבריקציה בשכבה דקה ברזולוציה אטומית.
תאריך עדכון אחרון : 29/06/2021