ננו פבריקציה

מתקן הננו-פבריקציה של BINA  מספק כלים ראשונים במעלה לעיצוב והדפסת תבניות  בסקאלה הננומטרית.  כלים אלו כוללים אלומת יונים ממוקדת, ליתוגרפיית קרן אלקטרונים, מערכות התזה ואידוי, פוטוליתוגרפיה, מגוון טכניקות להכנת פילם-דק (ALD  ו- PLD) וחדרים נקיים בדרגה 100 ו-1000 המצוידים במכשור למגוון תהליכי פבריקציה. מתקן הפבריקציה מצויד בכלים לפבריקציה בשכבה דקה ברזולוציה אטומית.