Atomic Layer Deposition

English שלחו לחבר

   

מפרטים
  • 4 precursors lines with heated sources
  • 4 gas inlets
  • Turbo pump with APC mechanism for high aspect ratio samples
  • Load lock chamber
  • 8" sample holder

 

תאריך עדכון אחרון : 07/01/2019